日本電子技研iwatsu電容式位移計(jì)ST-3541

ST-3541采用“無源型"，探頭中沒有內(nèi)置電路。因此，穩(wěn)定性大大提高。此外，由于沒有電路部件，因此緊湊且具有用于結(jié)合的z佳結(jié)構(gòu)。
它是納米位移測量，精密工作臺位置檢測/姿態(tài)控制，平面度和厚度測量的理想選擇。

特征

出色的高穩(wěn)定性

下圖是在25測量在恒溫浴組穩(wěn)定性的一例℃。
您可以看到已經(jīng)進(jìn)行了12小時的長時間穩(wěn)定測量。

實(shí)現(xiàn)高分辨率測量

z大分辨率0.3nm-rms下
圖顯示了由步進(jìn)電信號驅(qū)動的壓電元件的位移。
即使只有1 nm的小步進(jìn)信號，也可以很好地檢查響應(yīng)。

• 1nm步進(jìn)
  波形：頻率0.15Hz步進(jìn)寬度1nm。
  頻段設(shè)定：100Hz

線性度0.05％

通過使用不需要線性化器的測量方法，可以實(shí)現(xiàn)出色的線性度。

• 
  較小的探頭使安裝更容易由于探頭主體沒有內(nèi)置電路，因此尺寸已大大減小。
  這大大擴(kuò)展了結(jié)合到測量系統(tǒng)中的自由度。

• 使用的連接電纜，可以
  在通道之間進(jìn)行同步操作。即使使用多臺設(shè)備，也可以通過連接通道進(jìn)行同步操作。同步操作可防止通道之間的干擾并穩(wěn)定測量結(jié)果。

• 您可以減少系統(tǒng)構(gòu)建的成本。
  當(dāng)使用多個通道時，只有通過按需供電才可以擴(kuò)展，因此可以降低系統(tǒng)構(gòu)建成本。

可以在真空中進(jìn)行測量

通過使用與真空兼容的定制探頭，可以測量真空中的位移。

日本電子技研iwatsu電容式位移計(jì)ST-3541

應(yīng)用領(lǐng)域

• 精密定位，位置檢測，半導(dǎo)體的姿態(tài)控制，精密處理，顯微鏡等

• 壓電元件的振動和振幅測量等

• 硅片，金屬板，精密加工零件等的平面度和厚度測量

• 測量軸跳動，表面跳動和精密電機(jī)的圓度等

• 納米位移測量