日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

ST-3541采用“無源型"，探頭中沒有內置電路。因此，穩(wěn)定性大大提高。此外，由于沒有電路部件，因此緊湊且具有用于結合的z佳結構。
它是納米位移測量，精密工作臺位置檢測/姿態(tài)控制，平面度和厚度測量的理想選擇。

特征

出色的高穩(wěn)定性

下圖是在25測量在恒溫浴組穩(wěn)定性的一例℃。
您可以看到已經進行了12小時的長時間穩(wěn)定測量。

實現高分辨率測量

z大分辨率0.3nm-rms下
圖顯示了由步進電信號驅動的壓電元件的位移。
即使只有1 nm的小步進信號，也可以很好地檢查響應。

• 1nm步進
  波形：頻率0.15Hz步進寬度1nm。
  頻段設定：100Hz

線性度0.05％

通過使用不需要線性化器的測量方法，可以實現出色的線性度。

• 
  較小的探頭使安裝更容易由于探頭主體沒有內置電路，因此尺寸已大大減小。
  這大大擴展了結合到測量系統(tǒng)中的自由度。

• 使用的連接電纜，可以
  在通道之間進行同步操作。即使使用多臺設備，也可以通過連接通道進行同步操作。同步操作可防止通道之間的干擾并穩(wěn)定測量結果。

• 您可以減少系統(tǒng)構建的成本。
  當使用多個通道時，只有通過按需供電才可以擴展，因此可以降低系統(tǒng)構建成本。

可以在真空中進行測量

通過使用與真空兼容的定制探頭，可以測量真空中的位移。

日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

應用領域

• 精密定位，位置檢測，半導體的姿態(tài)控制，精密處理，顯微鏡等

• 壓電元件的振動和振幅測量等

• 硅片，金屬板，精密加工零件等的平面度和厚度測量

• 測量軸跳動，表面跳動和精密電機的圓度等

• 納米位移測量