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更新日期：2025-05-02
簡要描述：
日本特許機(jī)器tokkyokiki臺式隔振臺EHS/DHS/DAS/SRD/SVD包括半導(dǎo)體行業(yè)在內(nèi)的超精密加工領(lǐng)域的制造、檢測和測量，正在將精密度深化到納米和埃。這是一系列 OS 浮動辦公桌，準(zhǔn)確捕捉這些時代的需求，并為超微振動提供隔離空間。
日本特許機(jī)器tokkyokiki臺式隔振臺EHS/DHS/DAS/SRD/SVD
包括半導(dǎo)體行業(yè)在內(nèi)的超精密加工領(lǐng)域的制造、檢測和測量，正在將精密度深化到納米和埃。這是一系列 OS 浮動辦公桌，準(zhǔn)確捕捉這些時代的需求，并為超微振動提供隔離空間。
我們準(zhǔn)備了支持更大直徑的半導(dǎo)體和液晶基板、由于更大的底座而導(dǎo)致更大的檢查設(shè)備和更重的產(chǎn)品陣容。
該系統(tǒng)可以通過與制造檢測線和眾多選項(xiàng)相匹配的簡單設(shè)計(jì)進(jìn)行精美配置。
針對超精密檢查/測量設(shè)備的高性能防振臺?
EHS-68（帶下擱板）
| 模型 | EHS-68 | EHS-78 | EHS-87 | EHS-107 |
|---|---|---|---|---|
| 隔振臺外形尺寸 (W x D x Hmm) | 600 x 800 x 750 | 700 x 800 x 750 | 800 x 700 x 750 | 1,000 x 700 x 750 |
| 產(chǎn)品重量（公斤） | 170 | 190 | 190 | 220 |
| 允許安裝重量（kg） | 120 | |||
| 隔振方式 | 空氣彈簧和擺球支撐系統(tǒng)（PAT .P / USP） | |||
| 固有頻率 (Hz) | 垂直方向 1.6 ~ 2.2 水平方向 1.2 ~ 1.8 | |||
| 調(diào)平 | 機(jī)械泡自動找平方式：供給壓力0.4Mpa | |||
| 浮動部分 | SUS304 拋光處理 | |||
| 選項(xiàng) | 工作罩、抗震固定支架、下擱板 | |||
| 其他 | 可用于無塵室（帶集中排氣機(jī)構(gòu)和防靜電接地功能） 符合RoHS指令 | |||
臺式隔振臺 DHS
DHS 系列是在 EHS 系列上帶有工作罩的型號。您可以工作而不必?fù)?dān)心觸摸浮動部分。?
DHS-68（帶下擱板）
| 模型 | DHS-68 | DHS-78 | DHS-87 | DHS-107 |
|---|---|---|---|---|
| 隔振臺外形尺寸 (W x D x Hmm) | 650 x 850 x 750 | 750 x 850 x 750 | 850 x 750 x 750 | 1,050 x 750 x 750 |
| 產(chǎn)品重量（公斤） | 175 | 195 | 195 | 225 |
| 允許安裝重量（kg） | 120 | |||
| 隔振方式 | 空氣彈簧和擺球支撐系統(tǒng)（PAT .P / USP） | |||
| 固有頻率 (Hz) | 垂直方向 1.6 ~ 2.2 水平方向 1.2 ~ 1.8 | |||
| 調(diào)平 | 機(jī)械泡自動找平方式：供給壓力0.4Mpa | |||
| 浮動部分 | SUS304 拋光處理 | |||
| 選項(xiàng) | 抗震固定支架，下擱板 | |||
| 其他 | 可用于無塵室（帶集中排氣機(jī)構(gòu)和防靜電接地功能） 符合RoHS指令 | |||
日本特許機(jī)器tokkyokiki臺式隔振臺EHS/DHS/DAS/SRD/SVD
臺式隔振臺DAS
兼容光學(xué)顯微鏡/粗糙度儀等大負(fù)載?
DAS-68（帶下層架）
| 模型 | DAS-68 | DAS-78 | DAS-87 | DAS-107 |
|---|---|---|---|---|
| 隔振臺外形尺寸 (W x D x Hmm) | 650 x 850 x 750 | 750 x 850 x 750 | 850 x 750 x 750 | 1,050 x 750 x 750 |
| 產(chǎn)品重量（公斤） | 180 | 200 | 200 | 230 |
| 允許安裝重量（kg） | 200 | |||
| 隔振方式 | 空氣彈簧 | |||
| 固有頻率 (Hz) | 縱橫2.0-3.0 | |||
| 調(diào)平 | 機(jī)械泡自動找平方式：供給壓力0.4Mpa | |||
| 浮動部分 | SUS304 拋光處理 | |||
| 選項(xiàng) | 抗震固定支架，下擱板 | |||
| 其他 | 可用于無塵室（帶集中排氣機(jī)構(gòu)和防靜電接地功能） 符合RoHS指令 | |||
臺式隔振臺 SRD/SVD
配備測量顯微鏡/粗糙度儀等。?
SVDA (wing, Saidodesu
click (ED), monitor stand, mouse
scan / with keyboard stage)
| 模型 | SRDA | SVDA | SRDC | 直流電源 | SRDR |
|---|---|---|---|---|---|
| 隔振臺外形尺寸 (W x D x Hmm) | 590 x 720 x 715 | 770 x 720 x 715 | 590 x 720 x 715 | 770 x 720 x 715 | 590 x 720 x 715 |
| 產(chǎn)品重量（公斤） | 70 | 105 | 70 | 105 | 70 |
| 允許安裝重量（kg） | 120 | 200 | 120 | 200 | 45 |
| 隔振方式 | 空氣彈簧 | 特制橡膠彈簧墊 | |||
| 固有頻率 (Hz) | 縱橫2.0-3.0 | 垂直和水平 8.0 到 12.0 | |||
| 調(diào)平 | 機(jī)械泡自動找平方式：供給壓力0.4Mpa | 手泵補(bǔ)水手動調(diào)節(jié) | 特制橡膠彈簧墊 | ||
| 浮動部分 | SPCC（三聚氰胺樹脂涂層） | ||||
| 選項(xiàng) | 側(cè)翼、側(cè)桌 (ED) ED、顯示器支架、鼠標(biāo)/鍵盤支架 | ||||
關(guān)于臺式隔振臺的使用：如果安裝設(shè)備的重心位置超過短邊標(biāo)示尺寸的1/2高度。
