日本lintec小型燃?xì)饧訜崞?HX-0020 噴頭

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更新日期：2024-03-24

簡要描述：

日本lintec小型燃?xì)饧訜崞?HX-0020
緊湊型緊湊型氣體加熱，最高加熱溫度為200°C。

詳細(xì)介紹

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日本lintec小型燃?xì)饧訜崞?HX-0020

緊湊型緊湊型氣體加熱，最高加熱溫度為200°C。

特點

設(shè)計緊湊，面之間 160 mm ×寬 55 mm
加熱 N2 氣體 10SLM 至 200°C
能夠加熱不腐蝕氣體接觸材料的氣體（SUS316L）
也可在真空和加壓下使用

使用示例

原子層沉積和 CVD 設(shè)備熱吹掃

液化氣體通常用于ALD和CVD等真空沉積，但用室溫氣體吹掃會使溫度冷卻并冷凝，相反，吹掃可能不足。這就是熱吹掃的用武之地。緊湊型氣體加熱器（HX-0020）的占地面積與 MFC 沒有太大區(qū)別，可以加熱到 200°C，使氣體加熱接近使用點，使其成為 ALD 和 CVD 等真空沉積設(shè)備熱吹掃的理想選擇。

日本lintec小型燃?xì)饧訜崞?HX-0020

規(guī)格

	流量（N2當(dāng)量）	壓降（N2）	耐壓（G）	工作溫度	氣體接觸部件材料
規(guī)范	10SLM	14kPa	1兆帕	200°C	不銹鋼316L

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