薄膜和微區(qū)域的熱射流率檢測設(shè)備介紹

發(fā)布日期：2024-01-17      瀏覽次數(shù)：935

薄膜和微區(qū)域的熱射流率檢測設(shè)備介紹

熱顯微鏡TM3






熱物性顯微鏡測量原理（概述）

金屬薄膜沉積在樣品上，并使用加熱激光定期加熱。

1. 金屬的反射率具有根據(jù)表面溫度而變化的特性（熱阻法），因此我們可以通過捕捉與加熱激光同軸照射的檢測激光的反射強(qiáng)度的變化來測量表面的相對溫度變化。去做。

2. 熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)出現(xiàn)相位滯后。該相位延遲根據(jù)樣品的熱特性而變化。通過測量該加熱光和檢測光之間的相位延遲來確定熱射流率。






特征

• 熱物性顯微鏡是測量熱射流率的裝置，熱射流率是熱物性值之一。

• 這是一種可以測量樣品的點(diǎn)、線、面熱物理性質(zhì)的裝置。

• 還可以測量微米級的熱物理性質(zhì)值的分布，這在傳統(tǒng)的熱物理性質(zhì)測量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。

• 這是第一個(gè)能夠?qū)嵛锢硖匦赃M(jìn)行非接觸式高分辨率測量的設(shè)備。

• 檢測光斑直徑為 3 μm，可實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域的高分辨率熱物性測量（點(diǎn)、線、面測量）。

• 由于可以在不同深度進(jìn)行測量，因此可以測量從薄膜、多層膜到散裝材料的所有物體。

• 也可以測量基材上的樣品。

• 使用激光的非接觸式測量。

• 可以檢測薄膜下的裂紋、空隙和剝落。

主要規(guī)格

名稱/產(chǎn)品名稱	熱物性顯微鏡/熱顯微鏡
測量模式	熱物性分布測量（一維/二維/1點(diǎn)）
測量項(xiàng)目	熱射流率，（熱擴(kuò)散率），（導(dǎo)熱率）
檢測光斑直徑	約3μm
1點(diǎn)測量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間	10秒
待測薄膜	厚度：數(shù)百nm至數(shù)十μm
重復(fù)性	Pyrex 和硅的熱射流率小于±10%
樣本	1. 樣品架30mm x 30mm，厚度5mm 2. 板狀樣品30mm x 30mm以下，厚度3mm以下 樣品表面需進(jìn)行鏡面拋光。 樣品表面需要進(jìn)行鉬濺射。
工作溫度限制	24℃±1℃（根據(jù)設(shè)備內(nèi)置溫度傳感器）
載物臺行程距離	?X軸方向20mm ?Y軸方向20mm ?Z軸方向10mm
加熱激光	半導(dǎo)體激光波長：808nm
檢測激光	半導(dǎo)體激光波長：658nm
電源	交流100V 1.5kVA
標(biāo)準(zhǔn)配件	樣品架、參考樣品
選項(xiàng)	光學(xué)平臺、空調(diào)、空調(diào)房、濺射設(shè)備