mec檢測技術(shù)分析

發(fā)布日期：2024-03-16      瀏覽次數(shù)：818

mec檢測技術(shù)分析

定區(qū)域檢查/尺寸測量




MLA-5000 專為切割（單晶圓）產(chǎn)品而設(shè)計(jì)，除了對產(chǎn)品定區(qū)域進(jìn)行表面檢查外，還使用我們的技術(shù)來執(zhí)行尺寸測量。

之定區(qū)域巡查

• 通過將定檢查區(qū)域設(shè)置在檢查對象區(qū)域（工件）的末端，可以進(jìn)行全表面檢查。

• 通過在檢查對象區(qū)域（工件）內(nèi)定定檢查區(qū)域并設(shè)置多個(gè)檢查區(qū)域，可以處理多面產(chǎn)品和多個(gè)工件。

• 如果檢查對象區(qū)域（工件）的形狀復(fù)雜，也可以使用CAD數(shù)據(jù)來定區(qū)域。



尺寸測量

• 可以在自動識別的檢查目標(biāo)區(qū)域（工件）內(nèi)識別定區(qū)域，并測量每個(gè)區(qū)域和每個(gè)區(qū)域之間的尺寸（距離）。通過測量尺寸，可以獲得定區(qū)域的“外徑/內(nèi)徑/位置偏差量/被檢查產(chǎn)品之間的節(jié)距"等信息，并對產(chǎn)品進(jìn)行合格/不合格判定。

待檢產(chǎn)品示例1		待檢產(chǎn)品例2
從產(chǎn)品的外圓開始指指區(qū)域 1、2、3 φDiameter1：指區(qū)域 1 的直徑 φDiameter2：指區(qū)域 2 的直徑 φDiameter3：指區(qū)域的直徑 3TargetPitch：與前一產(chǎn)品的間距PositionGap1 ： 指區(qū)域 3 的中心位置 偏差PositionGap2：測量指區(qū)域1和2的中心位置偏差 TargetWidth：紙張的全寬度		產(chǎn)品的圓為指區(qū)域 φDiameter: 指區(qū)域的直徑PositionGap : 測量指區(qū)域的中心位置偏差TargetPitch : 與前一個(gè)產(chǎn)品的間距TargetWidth : 板材的全寬度