CHINO溫度計在半導體晶圓表面拋光溫度測量上的運用

發(fā)布日期：2024-07-12      瀏覽次數：900

CHINO溫度計在半導體晶圓表面拋光溫度測量上的運用

●適合裝置組裝的緊湊的檢測部

●可追隨溫度變化的高速響應

在半導體宇工哈的電腦技術置中，通過研磨晶片直至達到與基座相同的高度，從而達到規(guī)定的厚度。研究星期一開始調查后，晶片和基座之間會產生溫度差，但如果晶片達到與基座相同的高度，則溫度差消失。通過用放射溫度計測定研磨面的溫度，可以判斷研磨結束。

光狀態(tài)可以通過溫度確定，利用反饋優(yōu)化加工過程

相關產品

• 小型紅外輻射溫度計IR-BZP
  

• IR-BZ系列將檢測部與主體分離，檢測部更小，可在高溫環(huán)境下使用。配備數字溫度顯示和參數設定功能，實現穩(wěn)定測量。

• 即使環(huán)境溫度發(fā)生變化，也可以進行高精度和穩(wěn)定的測量。

• 兼容要求15ms跟隨性的生產線

• 范圍寬，從低溫范圍（0至1000℃）

• 圖形記錄儀KR2000寬144x高144毫米
  

• KR2000系列是一款兼容網絡的無紙記錄儀，采用5.6英寸TFT彩色液晶顯示屏，具有出色的可視性，兼具高功能性和可操作性。采集周期約為100ms，精度為±0.1%FS，實現高速、高精度。測量數據可保存在內存和最大8GB的緊湊型閃存卡（CF卡）中?？梢允褂镁W絡瀏覽器屏幕從內聯網或互聯網上的多臺計算機進行監(jiān)控，并且可以通過 FTP 傳輸數據文件或通過電子郵件發(fā)送數據文件。

• 配備出色的可操作性和廣泛的記錄功能，網絡兼容無紙記錄儀，并支持自定義圖形

• 共22種多量程輸入（直流電壓、熱電偶、測溫電阻）

• 配備趨勢顯示、棒圖顯示、數值顯示等多種顯示功能。

• 最大8GB的CF卡可用于數據記錄，因此可以長期連續(xù)記錄。

• 配備算術、比較、邏輯運算等計算功能，還可以對輸入數據進行預定運算并顯示和記錄。

• 報警輸出和上/下通訊可供選擇?？梢允褂孟聦油ㄐ庞涗泚碜允惺跴LC*的數據，也可以從KR2000將數據寫入PLC。（*PLC 型號有限制。）

• 通過使用可選的自定義圖形功能，用戶在 PC 上創(chuàng)建的圖形屏幕（使用 KR Screen Designer，單獨出售）可以顯示在 KR 上。

• 測量數據記錄在內存和CF卡中，并且可以在主機上回放。此外，通過使用分析/數據采集應用軟件TRAMS，您可以輕松回放、顯示和編輯記錄儀采集的數據文件。

• 圖形記錄儀KR3000寬288x高288毫米
  

• KR3000系列是一款兼容網絡的無紙記錄儀，采用可視性佳的12.1英寸TFT彩色液晶顯示屏和觸摸屏操作系統(tǒng)，功能強大且易于操作。采集周期約為100ms/所有點，精度為±0.1%FS的高速和高精度。測量數據可保存在內存和最大8GB的緊湊型閃存卡（CF卡）中。可以使用網絡瀏覽器屏幕從內聯網或互聯網上的多臺計算機進行監(jiān)控，并且可以通過 FTP 傳輸數據文件或通過電子郵件發(fā)送數據文件。

• 配備出色的可操作性和廣泛的記錄功能，網絡兼容無紙記錄儀，并支持自定義圖形

• 共22種多量程輸入（直流電壓、熱電偶、測溫電阻）

• 配備趨勢顯示、棒圖顯示、數值顯示等多種顯示功能。

• 最大8GB的CF卡可用于數據記錄，因此可以長期連續(xù)記錄。

• 配備算術、比較、邏輯運算等計算功能，還可以對輸入數據進行預定運算并顯示和記錄。

• 報警輸出和上/下通訊可供選擇?？梢允褂孟聦油ㄐ庞涗泚碜允惺跴LC*的數據，也可以從KR3000將數據寫入PLC。（*PLC 型號有限制。）

• 測量數據記錄在內存和CF卡中，并且可以在主機上回放。此外，通過使用分析/數據采集應用軟件TRAMS，您可以輕松回放、顯示和編輯記錄儀采集的數據文件。

• 通過使用可選的自定義圖形功能，用戶在 PC 上創(chuàng)建的圖形屏幕（使用 KR Screen Designer，單獨出售）可以顯示在 KR 上。