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LCD / 半導體生產提速:REX-250 UV 光源,精準固化高效光刻

  • 發(fā)布日期:2026-01-20      瀏覽次數(shù):28
    • 在LCD與半導體產業(yè)的精密制造鏈路中,UV光源作為圖形轉移、材料固化的核心能量載體,其穩(wěn)定性、精準度與適配性直接決定產線效率與產品良率。日本朝日分光250W水銀光源REX-250,以多波長覆蓋、精準控光、無縫集成的核心優(yōu)勢,成為兩大領域突破產能瓶頸、優(yōu)化工藝成本的優(yōu)選裝備,為生產提速注入強勁動力。

      深耕核心工藝,適配產業(yè)剛需

      LCD與半導體生產對UV光源的波長、光強、穩(wěn)定性有著嚴苛要求,REX-250針對性破解工藝痛點,實現(xiàn)從固化到光刻的全場景適配,兼顧效率與精度的雙重提升。

      LCD制造:精準固化護航高效量產

      在LCD全制程中,UV固化與光配向工藝直接影響面板顯示效果與結構穩(wěn)定性。REX-250憑借365nm核心波長(行業(yè)標準固化波長),匹配液晶盒封口膠、PIN管腳固定膠及TOP層絕緣膜的光固化需求,通過光聚合交聯(lián)反應使材料形成致密穩(wěn)定結構,固化速度快、粘結力強,同時有效降低后固化溫度,減少面板熱損傷風險。
      針對LCD產線的連續(xù)化生產需求,REX-250搭載的圓形連續(xù)可變ND濾光片可實現(xiàn)100%-5%光量精準調節(jié),配合0.5-99999.9秒寬范圍快門定時器,能根據不同膠材特性與面板規(guī)格靈活設定工藝參數(shù),避免能量不足導致的固化不徹1底或能量過量引發(fā)的氣泡、變形問題,保障批量生產的一致性。其強制排氣冷卻系統(tǒng)可維持長時間穩(wěn)定運行,適配LCD產線7×24小時高強度作業(yè)需求,杜絕因光源過熱導致的功率衰減,進一步提升產線良率。

      半導體光刻:多波長賦能靈活研發(fā)與小批量生產

      半導體原型芯片、MEMS器件的光刻工藝,對光源波長的針對性與光強穩(wěn)定性要求高。REX-250覆蓋248nm深紫外至436nm可見光的多特征譜線,可精準匹配i-line(365nm)、h-line(405nm)、g-line(436nm)光刻膠的感光需求,通過8槽濾光片輪換系統(tǒng)實現(xiàn)快速波長切換,無需更換光源本體,大幅降低設備投入與換產時間。
      光刻過程中,REX-250的高純度單色光輸出可減少光散射與衍射效應,配合精準光量調節(jié)與定時控制,有效優(yōu)化圖形邊緣清晰度,降低鄰近效應與主體反差對光刻精度的影響,助力實現(xiàn)微米/亞微米級圖形轉移,為半導體研發(fā)實驗與小批量生產提供高性價比解決方案。同時,248nm深紫外波長還可用于晶圓表面有機污染物的UV清洗,通過光敏氧化作用分解碳氫化合物,使表面接觸角降至20度以下,滿足精密光刻的潔凈度要求。

      核心技術賦能,提速降本雙向突破

      REX-250的高效性不僅體現(xiàn)在工藝適配,更源于其人性化的技術設計,從集成能力、操作便捷性到成本控制,全1方位賦能產線升級。

      無縫集成自動化產線,減少人工干預

      面對LCD與半導體產業(yè)的智能化升級趨勢,REX-250配備RS232C工業(yè)接口,可直接與PLC、計算機或MES系統(tǒng)無縫對接,實現(xiàn)遠程啟停、參數(shù)調節(jié)與時序同步控制。在自動化產線中,可與機械手、傳送帶、點膠機等設備精準聯(lián)動,設定“工序觸發(fā)-光源啟動-照射完成-信號反饋"的閉環(huán)流程,無需現(xiàn)場手動操作,既避免人為誤差,又節(jié)省單獨固化/光刻工位的等待時間,實現(xiàn)“邊走邊固"“同步光刻"的高效作業(yè)模式,顯著提升產線整體 throughput。

      靈活調控+穩(wěn)定運維,降低綜合成本

      除多波長切換與精準調光功能外,REX-250的平均燈泡壽命達1000小時,照度降至70%時會發(fā)出更換提示,便于提前規(guī)劃運維周期,避免突發(fā)故障導致的產線停工。其緊湊的機身設計(主體尺寸262×341×488mm,重量17.7kg)可靈活嵌入各類生產平臺與實驗裝置,無需占用大量空間,適配不同規(guī)模車間布局。
      相較于高1端專用UV光源,REX-250以低成本實現(xiàn)深紫外到可見光的全波段覆蓋,支持帶通、長/短通等多種濾光片適配,兼顧研發(fā)靈活性與生產穩(wěn)定性,大幅降低中小企業(yè)與科研機構的設備投入成本,同時減少換燈、調試等運維環(huán)節(jié)的時間與人力消耗,實現(xiàn)綜合成本優(yōu)。

      安全防護升級,保障連續(xù)生產

      LCD與半導體生產中,UV光源的安全運行是產線穩(wěn)定的前提。REX-250采用脈沖馬達驅動快門,響應迅速且關閉嚴密,配合遠程控制功能,可減少操作人員直接接觸深紫外光的風險,避免強光輻射傷害。設備配備完善的狀態(tài)監(jiān)測與故障反饋機制,實時監(jiān)控冷卻系統(tǒng)、燈泡狀態(tài)與光強輸出,異常時自動報警,為無人值守自動化產線提供可靠安全保障。

      總結:精準賦能,成為產線提速核心裝備

      日本朝日分光REX-250 250W水銀光源,以“多波長覆蓋+精準控光+無縫集成"的核心優(yōu)勢,深度適配LCD與半導體生產的固化、光刻、清洗等關鍵工藝,既滿足工業(yè)量產對效率、良率與穩(wěn)定性的嚴苛要求,又適配科研實驗的靈活可調需求。在產業(yè)智能化、高效化升級的浪潮中,REX-250憑借高性價比與全場景適配能力,成為助力企業(yè)突破產能瓶頸、降低綜合成本的核心UV光源裝備,為LCD與半導體產業(yè)高質量發(fā)展注入持續(xù)動力。




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