日本東麗氧化鋯式氧氣計(jì)在半導(dǎo)體行業(yè)的運(yùn)用

發(fā)布日期：2021-06-25      瀏覽次數(shù)：1554

日本東麗氧化鋯式氧氣計(jì)在半導(dǎo)體行業(yè)的運(yùn)用

氧氣表半導(dǎo)體/液晶/電子元件相關(guān)應(yīng)用半導(dǎo)體、電子元件用氧分析儀
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

氧氣計(jì) MS-500



• 多可同時(shí)測(cè)量 8 個(gè)點(diǎn)
• 可以顯示從 ppm 級(jí)到 99% 的各種濃度。
• 適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等上。
• 傳感器為直插式（NW 法蘭用于真空 16/25/40）
• 高度耐用的傳感器采用特殊涂層，以進(jìn)一步提高耐用性。

 

氧氣計(jì)LC-450A、LC-450D



• 
  可以顯示從測(cè)量的ppm 水平到 99% 的廣泛濃度范圍。
• 提高傳感器的耐用性
  氧傳感器經(jīng)過(guò)特殊處理以提高其耐用性。
• 交流寬電源 AC100-240VAC (LC-450A)
  * LC-450D由24V DC驅(qū)動(dòng)
• 緊湊且易于安裝
  深度比我們的傳統(tǒng)型號(hào)更短，并且不占用太多空間。
• 符合 RoHS 指令的產(chǎn)品
• CE標(biāo)志自我聲明產(chǎn)品
  EN61010-1：2002、EN61326：+A3：2003

氧氣計(jì)LC-860



• 低濃度測(cè)量 可測(cè)量從
  ppb級(jí)到99%
• 操作簡(jiǎn)單
  按鍵操作簡(jiǎn)單
• 吹掃功能
  比較 氣體更穩(wěn)定，測(cè)量精度更高（僅限帶吹掃功能的規(guī)格）。
• 高可靠性傳感器 傳感器
  內(nèi)部也可進(jìn)行劣化防止處理（可選）