日本朝日分光光學(xué)膜厚儀OMD-1000產(chǎn)品介紹

發(fā)布日期：2022-03-02      瀏覽次數(shù)：1922

日本朝日分光光學(xué)膜厚儀OMD-1000產(chǎn)品介紹



什么是 OMD-1000？

這是一種分光膜厚監(jiān)測(cè)監(jiān)視器，可在氣相沉積過(guò)程中用單色光監(jiān)測(cè)基板上的光量變化。也用于本公司自有的薄膜蒸鍍裝置，作為蒸鍍部件制造商的專(zhuān)有技術(shù)，作為膜厚監(jiān)測(cè)裝置完成。

概述

全波長(zhǎng)范圍

以往機(jī)型的波長(zhǎng)選擇是濾光片型，但新產(chǎn)品搭載了本公司業(yè)績(jī)良好的分光器，現(xiàn)在可以選擇任意波長(zhǎng)。
膜厚變化信號(hào)由電壓輸出轉(zhuǎn)為與個(gè)人電腦兼容的數(shù)字輸出，控制機(jī)構(gòu)由手動(dòng)操作轉(zhuǎn)為個(gè)人電腦指令控制。此外，通過(guò)I/F直接與個(gè)人電腦連接，可以控制膜厚計(jì)主體，是一個(gè)非常緊湊的系統(tǒng)，不需要像其他制造商那樣的控制器。

特征

• 帶光譜儀的緊湊型設(shè)計(jì)

• 通過(guò)提高抗噪性實(shí)現(xiàn)高度可靠的膜厚監(jiān)測(cè)（靜電放電測(cè)試耐壓±5 kV）

• 可通過(guò)來(lái)自 PC 的命令進(jìn)行自動(dòng)控制

• 通過(guò)將控制器集成到接收器主體中實(shí)現(xiàn)高性?xún)r(jià)比

產(chǎn)品規(guī)格

模型	OMD-1000
光譜儀類(lèi)型	Czerny Turner 型單色
波長(zhǎng)范圍	保證范圍：380 至 900 nm 可操作 范圍：350 至 1100 nm
波長(zhǎng)分辨率	狹縫 0.5mm：4.2nm [546nm] 狹縫 1.0mm：8.3nm [546nm]
波長(zhǎng)精度	± 1.0 納米
小波長(zhǎng)饋電	0.1nm
外部控制	RS232C
外部輸出端子	DC0-2V（滿(mǎn)量程）
采樣間隔	100ms 或更多
靜電放電試驗(yàn)?zāi)蛪?/span>	±5kV（實(shí)際8kV）
光源	12V100W鹵素?zé)?/span>
光強(qiáng)度穩(wěn)定性	±0.1%/小時(shí)以下
輸入電壓	AC100V 50 / 60Hz
允許輸入電壓	AC85-132V
視在功率	340VA以下
使用環(huán)境	溫度10-35℃ 濕度20-80%

* 請(qǐng)注意，產(chǎn)品規(guī)格和外觀如有更改，恕不另行通知。